TDR－80型单晶炉

西安理工大学工厂

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TDR－80型单晶炉是以直拉法从熔化的多晶硅熔液中生长硅单晶的电子专用设备．用于生产大规模集成电路所需要的高质量单晶的直径可达8"，填补了我国直径6"－8"硅单晶生长设备的空白，其主要技术指标（单晶直径，控径精度，控温精度等）及经济指标（实收率，材料利用率），可靠性指标与国外同类炉型相比毫逊色，特别是计算机等径控制水平则优于国外炉型的技术水平，该产品机械及电气性能稳定，运行平稳，达到了国际九十年代初期同类单晶炉的先进水平。 主要技术指标：炉室直径：Φ800mm，单晶规格：Φ6"－Φ8"，投料量：60kg，提拉单晶行程:2500mm，自动化程度：计算机等径自动控制。